(资料图片)
切割废屑主要是Si屑.
粗制硅片切割,就是将硅锭切割成硅片,目前基本采用线切割法,添加SiC切割液,Si和SiC本身均无毒,但一般硅锭中会掺杂P,B,As等元素以得到需要的硅片,因而切割废液,废屑等具一定毒性,但毒性极低,因为杂质含量是非常非常低的.
工艺制作完成的IC硅片(晶圆)的切割,或太阳能晶圆的切割,由于硅片切割道内有一些用Cu, Ti, Ni, Co等制作的图形,硅片本身也经过P,B,As等掺杂,所以切割废屑有一定的毒性,但有毒成份含量是ppm微量级的.另外,晶圆切割时,有可能添加切割液,所以必须看看切割液是否有毒(一般情况下是无毒的).
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需要做好劳动保护
中动部现件华记,划眼该。
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